① 多層原子炉設計: 原子炉角度を調整し、ガス分布を最適化して均一なシリコン蒸着を実現。 ① 局所的な変動を回避するための温度制御: 堆積中の温度を正確に調整して、不均一な堆積につながる可能性のある局所的な過熱を防ぎます。

① コーティングの完全性を向上させるためのアセチレンの相乗効果: まず、蒸着によって初期コーティングを形成し、続いて炭素被覆率を高めるためにアセチレン処理を行います。① コーティングプロセスパラメータの最適化: コーティング中の温度、期間、および大気条件を調整して、シリコン粒子への炭素前駆体の均一な分解と堆積を確保します。 緻密で安定した炭素層の形成。① 炭素前駆体の前処理と純度制御: 炭素前駆体の物理的活性化を実施して反応性と界面結合を強化し、前駆体の粒子サイズと純度を制御して不純物が炭素コーティングの品質に悪影響を与えるのを防ぎます。

① 堆積の不均一性を克服するための流動床技術: 炭素マトリックスを流動粒子床に配置します。流れるガスは液体のような状態を作り出し、粒子をシランガスに均一にさらすことを可能にし、均一なナノシリコン堆積を達成します。① インテリジェントなバッチングシステム: 成分比率を自動的に調整して、バッチごとの変動や不均一な混合を排除します。

① 収集システムの最適化: 収集中の材料の保持と損失を最小限に抑えます。① 反応条件の最適化: ガスの流れと反応時間を正確に制御して、炭素源の利用を改善し、残留原料を削減します。

流動床堆積プロセス中に不活性ガスを継続的に供給して、不活性環境を維持します。 リアルタイムで酸素レベルを同時に監視します。異常な変動が発生した場合は、タイムリーなアラートと調整をトリガーして、安定した制御可能な堆積プロセスを確保します。