酸化セリウム亜鉛酸化シリコン窒化物
炭化ケイ素
酸化セリウム
酸化亜鉛
窒化ケイ素炭化ケイ素
効率的な撹拌及び分散装置は、研磨液ベースに研磨粒子を均一に分散させて、研磨粒子の凝集及び沈殿を防止する。
