CVD法シリコン-炭素アノード生产ラインソリューション
概要
原材料の自動搬送、正確な計量、大気保護、高温堆積、急速冷却からコーティング処理、混合スクリーニング、消磁グレーディング、自動パッケージングまで、完全自動プロセスを実現しました。 高精度の計量システム、厳格な雰囲気制御、および効率的な堆積およびコーティング技術により、製品の高い純度と均一性を保証します。
特徴的
回転炉での均一な蒸着、カーボンコーティングの安定性を向上
インテリジェントなバッチングシステムにより、バッチのバリエーションと不均一な混合が排除されます
排気ガス処理は、材料の浪費と環境リスクを軽減します
流動床技術は、不均一なシラン沈着とバッチ変動を克服します
効率的な乾燥と正確な温度制御の問題を解決する
多孔質炭素吸湿性凝集と不完全乾燥によって引き起こされるその後の不均一な堆積
